光学元件 >> 镜头
垂直定向模块
用途：光刻机投影物镜（405nm）
物方和像方远心角：≤0.05°
放大率：1X 分辨率： ≤2 um
MTF：≥0.5@250lp/mm 成像视场：Φ20mm
数值孔径：0.17 畸变：1.5e-8
可根据客户的需求定制开发！
光学元件 >> 镜头
垂直定向模块
用途：光刻机投影物镜（405nm）
物方和像方远心角：≤0.05°
放大率：1X 分辨率： ≤2 um
MTF：≥0.5@250lp/mm 成像视场：Φ20mm
数值孔径：0.17 畸变：1.5e-8
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